عالية NA EUV ترفع المتطلبات الدقيقة لمعدات أشباه الموصلات

عالية NA EUV ترفع المتطلبات الدقيقة لمعدات أشباه الموصلات

وتتجه صناعة أشباه الموصلات إلى مرحلة صعبة أخرى من التصغير.

لم يعد التحدي ببساطة إنتاج ترانزستورات أصغر. كما يبحث مصنعو أشباه الموصلات عن معدات قادرة على الحفاظ على رقابة مشددة للغاية على العملية حيث تصبح هندسة الرقاقات أكثر تعقيدا.

الطباعة الحجرية عالية NA EUV هي واحدة من التقنيات في مركز هذا التحول.

وتظهر التطورات الأخيرة أن هذه التكنولوجيا تتحرك إلى ما هو أبعد من المناقشة المختبرية نحو تبني صناعي أوسع نطاقا. ذكرت رويترز في 14 سبتمبر أن ASML' ؛ الجيل القادم من أنظمة الأشعة فوق الصوتية عالية NA تشهد اهتماما كبيرا من صانعي الشرائح الرئيسية، مع TSMC وسامسونج و SK Hynix من بين الشركات التي تستعد لاعتماد في المستقبل.

وبالنسبة لصناعة التحكم في الحركة، ينطوي التطور على مدلول هام:

وتعتمد دقة معدات أشباه الموصلات بشكل متزايد على أداء كل حركة داخل الآلة.

معدات أشباه الموصلات تعتمد على الحركة المتحكم بها

نظام الطباعة الحجري هو قطعة معقدة للغاية من المعدات، ولكن نفس المبدأ ينطبق على تصنيع أشباه الموصلات.

أنظمة معالجة الرقاقة تحتاج إلى حركة محكومة.

تحتاج معدات التفتيش إلى إعادة تحديد مواقعها.

تحتاج آليات المحاذاة إلى حركة دائرية أو خطية مستقرة.

تحتاج أنظمة مناولة المواد إلى تسارع وتباطؤ يمكن التنبؤ بهما.

تحتاج معدات العملية المكونات للتحرك بدقة دون إدخال اهتزاز غير ضروري.

تضع هذه المتطلبات شروطًا صعبة على المحركات والمحامل والأدلة الخطية وعلب التروس ومكونات ناقل الحركة الأخرى.

عالية NA EUV دفع المعدات أداء أبعد

ASML' ؛ تم تصميم تقنية الأشعة فوق البنفسجية العالية لدعم استمرار توسيع نطاق التصنيع المتقدم لأشباه الموصلات.

وذكرت رويترز أن الجيل الحالي من أدوات الأشعة فوق البنفسجية يمكن معالجة رقائق تصل إلى ما يقرب من 800 ملليمتر مربع، في حين أن ASML يعمل نحو أقنعة أكبر لأنظمتها عالية NA بحيث يمكن للتكنولوجيا في نهاية المطاف دعم أكبر رقائق مركز البيانات. وتتوقع الشركة أن يؤدي هذا التطور إلى تحسين الإنتاجية.

ويسلط التقدم التقني الضوء على اتجاه أوسع نطاقاً في معدات أشباه الموصلات.

وكلما أصبحت نافذة العملية أكثر ضيقًا، أصبح لدى مصنعي المعدات مساحة أقل للخطأ الميكانيكي.

قد لا يكون نظام تحديد المواقع الذي يعمل بشكل مناسب للتطبيق التقليدي ملائمًا لعملية تتطلب قدرًا أكبر من الاستقرار والتكرار.

حيث يصبح التحكم في الحركة أمرًا حيويًا

غالبًا ما تكون الحركة داخل معدات أشباه الموصلات غير درامية.

قد تتحرك المرحلة لمسافة قصيرة فقط.

قد تدور الآلية الدوارة من خلال زاوية صغيرة.

قد تؤدي آلية معالجة الرقاقة نفس الحركة بشكل متكرر.

ولكن التكرار يغير متطلبات الهندسة.

وقد يحتاج النظام إلى أداء نفس الحركة آلاف أو ملايين المرات مع الحفاظ على سلوك يمكن التنبؤ به.

وبالتالي يمكن أن يصبح الارتداد والاهتزاز والصلابة ودقة تحديد المواقع والسلوك الحراري اعتبارات مهمة عند اختيار مكونات الإرسال.

وهذا أحد أسباب استمرار تطبيقات صناديق التروس الكوكبية الدقيقة، والمخفضات التوافقية، والآليات الدوارة، وأنظمة الحركة الخطية في المعدات المتصلة بأشباه الموصلات.

صندوق التروس جزء واحد فقط من النظام

لا يمكن لصندوق التروس الدقيق تعويض محرك غير مناسب، هيكل ميكانيكي سيئ أو نظام التحكم غير كاف.

الإرسال يجب أن يعمل مع بقية نظام الحركة

على سبيل المثال، قد يوفر محرك المؤازرة السرعة المطلوبة والاستجابة الديناميكية، في حين أن صندوق التروس الكوكبي يوفر مضاعفة العزم والحد من السرعة المتحكم بها.

يمكن اختيار صندوق التروس التوافقي حيث يتطلب الأبعاد المدمجة ونقل الحركة الدوراني الدقيق.

يمكن لصندوق التروس القائم الزاوية حل مشكلة التخطيط الميكانيكي عندما لا يمكن تركيب المحرك في خط مع المحور الدافع.

يمكن استخدام محرك خطي أو آلية مدفوعة بمسامير عندما تتطلب الآلة حركة خطية محكومة.

يعتمد الاختيار الصحيح على المحور بدلاً من الاسم الصناعي.

اهتزاز وارتجاج المادة في المعدات الدقيقة

في الآلات الصناعية العامة، قد يكون لكمية صغيرة من اللعب الميكانيكي تأثير ضئيل على الإنتاج.

معدات أشباه الموصلات الدقيقة مختلفة.

يمكن أن تؤثر الحركة غير المرغوبة على المحاذاة وتحديد المواقع والتكرار. الاهتزاز الميكانيكي يمكن أن يؤثر أيضا على أداء العمليات الحساسة.

وهذا يجعل خصائص الإرسال مثل الارتجاع وصلابة الالتوائي مهمة أثناء تصميم المعدات.

بالنسبة لمصنعي الآلات المصنعة للمعدات الأصلية، فإن عملية اختيار صندوق التروس تحتاج إلى أن تبدأ مع متطلبات الحركة الكاملة بدلا من مقارنة بسيطة من عزم الدوران الاسمي.

معدات أشباه الموصلات أصبحت أكثر تكاملاً

وهناك تغيير آخر هو التكامل المتزايد بين الأنظمة الميكانيكية والإلكترونية.

وتعمل أجهزة التحكم في الحركة ومحركات سيرفو والمحركات وأجهزة الاستشعار ومكونات النقل الميكانيكي بشكل متزايد كنظام واحد منسق.

إرسال فنغ هوا#39 ؛ تغطي مجموعة منتجات الدقةصناديق التروس الكوكبية،المختزلات التوافقية،أجهزة اختزال التردد اللاسلكي)، وعلب التروس القائمة الزاوية، والمنصات الدوارة، والمحركات ومنتجات الحركة الخطية المستخدمة في التشغيل الآلي الصناعي والمعدات الدقيقة.

وبالنسبة لمصنعي المعدات، يسمح هذا النوع من المنتجات بالأخذ في الاعتبار تقنيات نقل مختلفة وفقًا لمتطلبات محاور الآلات الفردية.

ما يعنيه ذلك بالنسبة لموردي مكونات الحركة

تطوير عالية NA EUV هو مثال على اتجاه أوسع في التصنيع المتقدم.

وكلما أصبحت عملية الإنتاج أكثر تطلبًا، كلما احتاج مصنعو المعدات لمزيد من الاهتمام بالتفاصيل الميكانيكية التي كانت تؤخذ كأمر مفروغ منه.

لا تحدد صناديق التروس أداء آلة أشباه الموصلات من تلقاء نفسها.

ولكن الاستقرار، والتكرار والسلوك الميكانيكي لكل مرحلة نقل يمكن أن تسهم في أداء المعدات كاملة.

Fenghua Transmission بالنسبة لموردي مكونات الحركة الدقيقة، فإن الفرصة ترتبط ارتباطا وثيقا بهندسة المعدات.

فهم التطبيق والمحرك والحمل والسرعة ومساحة التركيب ومتطلبات تحديد الموقع غالبا ما يكون أكثر فائدة من مجرد توفير علبة التروس القياسية.

ومع استمرار تطور معدات أشباه الموصلات، سيظل هذا النهج على مستوى التطبيق مهما للجيل القادم من التصنيع الدقيق.